Sistema Electron Beam consegnato all'Università di Turku in Finlandia

PVD Series Electron beam system

Un sistema Electron Beam, della nostra serie PVD, con rotazione e inclinazione del substrato fino a 25° è stato consegnato per la deposizione di dispositivi superconduttori.

Il sistema di evaporazione a fascio di elettroni con una camera di processo ad alto vuoto con una sorgente di di elettroni a 6 crogioli da 3 kW, con substrato rotante ed inclinabile, una camera loadlock con manipolatore magnetico manuale e capacità di trattamento termico in atmosfera di ossigeno, è stato recentemente consegnato all'Università di Turku in Finlandia. L'istituto, leader mondiale nella ricerca fondamentale sulle proprietà dei materiali a temperature estremamente basse nella gamma mK, prevede di utilizzare il sistema di evaporazione del fascio di elettroni per depositare alcuni degli strati necessari per dispositivi superconduttori.

ELETTRORAVA High Vacuum turbomolecular pump

Pompa ad alto vuoto ELETTRORAVA

Lamps for heat treatment in oxygen atmosphere

Lampade per il trattamento di calore in atmosfera di ossigeno

Electron beam source

Sorgente del fascio di elettroni

Material in crucible heated by electron beam

Materiale nel crogiolo riscaldato dal fascio di elettroni

 

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Quanto è grande il tuo wafer?

Nuova macchina PECVD multicamera

Riportiamo lo stato di avanzamento dei lavori su un nuovo sistema modulare multicamera PECVD per la deposizione su substrati di 35cm x 32cm progettato e prodotto per TNO (Olanda). Il sistema è progettato per prevenire l'incorporazione di impurità residue e la contaminazione tra i diversi strati. Il sistema deposita un'ampia gamma di materiali quali:

  • a-Si:H (intrinseco e drogato)
  • μ-Si:H (intrinseco e drogato)
  • leghe di silicio come SixCy:H, SixNy:H, SixOy:H

Il sistema è ora operativo presso il nostro stabilimento in Italia e sono in corso test approfonditi.

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L'arte della riflessione

The art reflection

Dall'introduzione del primo giroscopio laser ad anello (RLG) da parte del signor Kirkpatrick negli anni '70 per i sistemi di guida inerziale nell'avionica, c'è stato un crescente interesse per gli specchi ad alta riflettività con rivestimenti con bassissimo assorbimento e perdita di dispersione, alta resistenza e lunga durata. Tali rivestimenti sono depositati da Dual Ion Beam Sputtering (DIBS) con prestazioni spettrali eccezionali e livelli di difettosità molto bassi in base alle specifiche del cliente.

Di recente abbiamo consegnato una nuova macchina di deposizione DIBS e ci stiamo preparando a completare la fase di ottimizzazione del processo in stretta collaborazione con il cliente e sotto la supervisione scientifica e la guida di CNR-IMM Bologna. L'obiettivo ambizioso è produrre in modo ripetibile specchi laser per applicazioni avioniche con una riflettività del 99,98% a 633 nm.

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VR5K-1P

A completamento della gamma di macchine equilibratrici standard, è stata introdotta una nuova macchina equilibratrice verticale, modello VR5K-1P, per equilibratura di rotori fino  a 5000 Kg di peso.
La macchina è particolarmente indicata per l’equilibratura di grosse giranti di turbine e compressori.

 

 

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