Sistemi vuoto per film sottili


Dopo essere entrata in contatto con il mondo degli utilizzatori delle pompe turbomolecolari, e quindi con la tecnologia del vuoto, l’Elettrorava ha iniziato a produrre anche sistemi di deposizione di film sottili sotto vuoto...>>

Sistema Electron Beam consegnato all'Università di Turku in Finlandia

PVD Series Electron beam system

Un sistema Electron Beam, della nostra serie PVD, con rotazione e inclinazione del substrato fino a 25° è stato consegnato per la deposizione di dispositivi superconduttori.

Il sistema di evaporazione a fascio di elettroni con una camera di processo ad alto vuoto con una sorgente di di elettroni a 6 crogioli da 3 kW, con substrato rotante ed inclinabile, una camera loadlock con manipolatore magnetico manuale e capacità di trattamento termico in atmosfera di ossigeno, è stato recentemente consegnato all'Università di Turku in Finlandia. L'istituto, leader mondiale nella ricerca fondamentale sulle proprietà dei materiali a temperature estremamente basse nella gamma mK, prevede di utilizzare il sistema di evaporazione del fascio di elettroni per depositare alcuni degli strati necessari per dispositivi superconduttori.

ELETTRORAVA High Vacuum turbomolecular pump

Pompa ad alto vuoto ELETTRORAVA

Lamps for heat treatment in oxygen atmosphere

Lampade per il trattamento di calore in atmosfera di ossigeno

Electron beam source

Sorgente del fascio di elettroni

Material in crucible heated by electron beam

Materiale nel crogiolo riscaldato dal fascio di elettroni

 

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